摘要:在太阳能硅片切割过程中,常常会出现晶棒切斜的情况,切斜会导致产生厚度偏差片、锯痕不合格片或TTV超差片,从而影响硅片合格率。本文主要对晶棒切斜的原因进行了分析,以降低切斜情况的发生,提高硅片合格率。
1 引言
现代光伏行业切割硅片的设备是线锯,它的工作核心是在浆料配合下用于完成工作的钢线。硅片切割过程是由钢线和砂浆共同完成的。线网呈1000条相互平行的缠绕在导线轮上形成一个水平的平面。马达带动线导线轮使整个切割线网高速旋转。
硅块被固定于工作台上,每次可以切割4—8块。工作台垂直通过运动的钢线组成的线网,使硅块被切割成硅片。
钢线通过切割室内的导轮,在导轮的沟槽内缠绕成平行的线网,电机驱动导轮转动,从而带动钢线高速转动。此过程中,砂浆会通过浆料嘴流到线网上面,由于砂浆具有一定的粘度和悬浮性,使得砂浆中的碳化硅颗粒包裹在钢线表面,伴随着钢线的运行,与硅块产生摩擦起到切割作用。
2 晶棒切斜
正常情况下在切割过程中,导轮槽内高速转动的钢线会保持互相平行且钢线间距相同,若钢线受力的作用发生位错,摆动异常,钢线间距不均匀,则该位置的晶棒会出现切斜。切斜导致产生大量厚度偏差片、锯痕不合格片或TTV超差片,硅片本身厚度有一定的标准浮动范围,一般来说对于厚度为180μm的硅片,其偏差范围为±20μm,超过此范围则成为薄厚片,薄厚片的产生会影响硅片的合格率及电池片的生产工艺。