3.2 导轮
导轮是硅片切割的重要载体,其涂层为聚氨酯材料,当使用一段时间之后,导轮槽会发生磨损,槽深变深,槽的根部直径也会变大,与钢线直径不能完全吻合,因此在切割过程中,钢线在槽内会来回摆动,导致钢线间距不均匀变化;若槽壁磨损严重,则会造成钢线跳出原来的线槽到另外的线槽中,导致切斜。此时,应将导轮换下,使用新导轮。另一方面,每次切割结束后,会有部分碳化硅和其它物质沉积在导轮槽内,若不及时清理,会造成各导轮槽深浅不一,线网容易出现高低线,同时会加剧导轮槽的磨损。为减小对导轮的磨损,每次切割结束后,使用铜刷刷导轮,将导轮槽内的碳化硅进行清理,然后通过气枪使用压缩空气将导轮槽吹干净,减少导轮槽内碳化硅颗粒和其它物质的沉积。
3.3 砂浆内有杂物
在硅片切割过程中,不可避免会有碎导向条、碎片等杂物掉落到机床切割室内,若砂浆过滤装置如切割室过滤网、浆料缸过滤桶等过滤不彻底,杂物会混入砂浆中流入浆料缸,容易堵塞热交换器或浆料嘴。热交换器堵塞,会导致机床不断报警,同时砂浆流量达不到设定要求,而浆料嘴堵塞则会造成断流,这都会造成切割能力不足进而导致切斜。可采取的措施是保证过滤网、过滤桶等过滤装置完好无损,同时可在过滤桶内安装过滤袋实现二次过滤以进一步提高砂浆质量,每切割完一锯硅片更换一个新的过滤袋。此外,在切割过程中,由于钢线的磨损会产生大量铁粉混入砂浆中,切割完的砂浆进行回收的过程中,此部分铁粉不能被有效分离出来,为此,可在过滤袋内放置一根大小合适的磁棒用来吸铁粉,降低砂浆中的铁粉含量。
3.4 钢线张力
钢线张力是硅片切割工艺的核心要素,直接影响钢线的摆动情况,进而影响钢线之间的间距及线网的平整度。切割过程中,收线轴和放线轴的钢线都要保持在一定的张力范围内,一般0.12mm钢线放线轴张力设定范围为21N-24N,收线轴张力设定范围为21-24N;0.13mm钢线放线轴张力设定范围为22N-25N,放线轴张力设定范围为21-24N。张力过大或过小都不利于悬浮在钢线上的碳化硅颗粒进入锯缝进行切割。钢线张力正常波动范围为±1N。
4 小结
通过从砂浆、导轮、杂物、钢线张力方面对影响晶棒切斜的原因进行分析,可以有效避免切斜情况的出现,对提高硅片合格率、降低硅片加工成本有重要的意义。目前硅片依然是晶体硅
光伏发电中成本最昂贵的部分之一。因此,减少硅料消耗,提高晶棒的切割质量,是当前降低硅片切割生产成本的目标。