5 运行效果

该工程运行几年来，处理效果稳定，各阶段处理效果见表2。

从表2可以看出，该处理工艺对硅片清洗废水处理效果较好，对废水中COD、SS的去除率分别达到95.4%、96.2%，出水达到《电池工业污染物排放标准》(GB 30484—2013)中间接排放限值要求。该工程已经通过环保部门验收。

6 工程投资及运行成本分析

该工程共投资1 306万元，其中土建360万元，设备投资940万元，启动调试污泥菌种费用6万元。系统运行过程中，药剂费为2.2元/m3，电费为0.5元/m3，人工费为0.3元/m3，维修费为0.1元/m3，污泥处理费为0.2元/m3，合计运行成本为3.3元/m3(不含设备折旧)。

7 结论

(1)采用混凝沉淀—UASB—A/O处理系统—二次沉淀工艺处理硅片清洗废水，效果较好，出水水质稳定，系统出水各项指标均达到《电池工业污染物排放标准》(GB 30484—2013)中的间接排放限值要求。

(2)硅片清洗废水中悬浮物浓度较高，主要由碳化硅和硅粉等无机颗粒组成，在调节池需增加污泥清理设施，防止碳化硅和硅粉沉积造成调节池有效容积变小。

3)该工艺运行稳定，运行成本为3.3元/m3(不含设备折旧)，是一种可靠的硅片清洗废水处理工艺。