单晶硅炉是一种在惰性气体（氮气、氦气为主）环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备，亦被称作单晶硅生长炉。单晶硅炉型号有两种命名方式，一种为投料量，一种为炉室直径。比如120、150等型号是由投料量决定，85炉则是指主炉筒的直径大小。单晶硅炉的主体构成由主机、加热电源和计算机控制系统三大部分组成。

随着光伏产业的迅速发展，作为光伏材料的单晶硅需求也逐渐加大，单晶硅炉的价值也愈加彰显出来。国内外各大厂商也不断的进行自主研发和技术革新，以求生产更优质的单晶硅炉成品，顺应光伏市场的原料需求。回顾往年单晶硅炉的先进产品，那么近期国内外又有那些企业与产品值得推荐？依照2014年6月单晶硅炉研发状况，为大家盘点出近期7家单晶硅炉生产商以及先进产品，以飨读者。

NO.1晶盛机电

【先进产品】

型号：TDR130A-ZJS/γ 商业机型

投料量：300kg/不明

规格：12~16英寸/18 英寸

阶段：小批量生产/研发阶段

晶盛机电全称为上虞晶盛机电工程有限公司，总部在江苏省，是一家专业制造半导体材料设备的高新技术企业。现已经成功研制出目前国内唯一具有完全自主知识产权的全自动单晶炉，在此领域已拥有十一项国家专利且于2008年通过了ISO9001:2000体系认证，现已开发出了拥有自主知识产权的ZJS系列。

NO.2京运通

【先进产品】

型号：JD-1100

投料量170kg

规格：10英寸

阶段：处于研发升级阶段

京运通全称为北京京运通科技股份有限公司，是一家以光伏设备制造业务为核心、光伏设备与晶体硅生长和晶片业务互补发展的高新技术企业。主导产品包括单晶硅生长炉和多晶硅铸锭炉等光伏设备以及硅棒、硅锭和硅片等光伏产品。

NO.3天龙光电 　　

【先进产品】

型号： DRF-95B

投料量：120~150kg

规格：8~10 英寸

阶段：现已实现量产。

天龙光电全称为江苏华盛天龙光电设备股份有限公司，成立于2001年12月，是一家专业光伏设备研发生产企业。主营业务为太阳能电池 硅材料生产与加工设备的研发、生产和销售，经营产品包括单晶硅生长炉、单晶硅切断机和单晶硅切方滚磨机等光伏设备，覆盖了人工晶体生长和加工的多个工序范围。

NO.4七星电子

【先进产品】

型号：HG9001

投料量为90kg

规格：6~8 英寸

阶段：现已实现量产。

七星电子全称为北京七星华创电子股份有限公司，已有五十多年电子装备及元器件的生产制造经验，于2001年9月成立。公司坐落于中关村高科技产业开发区“电子城科技园”，是一家以集成电路制造工艺技术为核心，以大规模集成电路制造设备、混合集成电路和电子元件为主营业务，集研发，生产，销售及服务于一体的大型综合性高科技公司。

NO.5德国PVA TePla AG 公司

【先进产品】

型号：EKZ3500

投料量为200kg

规格：12 英寸

阶段：现已实现量产。

德国PVA TePla AG专业提供用于太阳能电池硅片生产用的多晶硅铸锭炉，单炉装料量为250公斤或400公斤（JUMB0 SIZE）。另外PVATEPLA公司还通过其子公司著名的德国CGS公司以及丹麦普发拓普公司分别提供用于太阳能以及半导体硅片生产用的单晶提拉炉以及区熔炉。　

NO.6美国Kayex 公司

【先进产品】

型号： Vision300

投料量为300kg

规格：12~16 英寸

阶段：现已实现量产。

KAYEX公司是目前世界上最大，最先进的硅单晶体生长炉制造商之一。KAYEX的产品早在80年代初就进入中国市场，已成为中国半导体行业使用最多的品牌。该公司生长的硅晶体生长炉从抽真空－检漏－熔料－引晶－放肩－等径－收尾到关机的全过程由计算机实行全自动控制。晶体产品的完整性与均匀性好，直径偏差在单晶全长内仅±1mm。主要产品有CG3000、CG6000、KAYEX100PV、KAYEX120PV、KEYEX150，Vision300型，投料量分别为30kg、60kg、100kg、120kg、150kg、300kg。

NO.7日本Ferrotec 公司

【先进产品】

型号：FT-CZ2408BZ

投料量150kg，

规格：8 英寸，

阶段：现已实现量产。

Ferrotec是具有多元化技术的跨国集团，在中国分别设立盐城和上海两个据点。在诸如终端产品、制造设备和很多行业中，Ferrotec都有出众的市场表现。以磁性流体技术和磁流体密封技术为基石，Ferrotec不断探索新的技术领域。主要产品包括金刚石刀具，单晶炉，多晶炉，硬质合金锯片，石墨制品等等。