“在头发丝千分之一面积的地方绘画”是对微纳米制造最为形象的描述之一，而光谱检测则是在千分之一的头发丝上找信息、测元素、挑毛病。这样的技术在过去被广泛应用于光伏产业的质量检测、珠宝的鉴定、LED在线监测、食品安全检测和大气二氧化硫检测等多个领域。近年来，随着微纳技术的发展，其又作为质检手段出现在微纳制造的各个环节。

复享光学（以下简称“复享”）即是一家致力于用光谱技术为科研创新市场与集成电路设备市场提供光谱检测分析仪器和专业解决方案的企业，成立于2011年，拥有多项自主可控的知识产权，着力于光子学与人工智能的融合，系一家以算法驱动的光谱硬科技公司。

从实验室走出硬科技企业

2009年还在复旦读博士的殷海玮，拉着两个学弟在学校实验室里做出了第一款原型产品——便携式光谱仪。彼时，他们的目标还只是研发出自己实验需要但市面尚无销售的仪器；后来这个目标逐渐从自身实验扩大到满足更多光学研究人员的实验需求，殷海玮的创业之路也随之开启。

他把自己归为典型的大学生创业者，复享也是从是实验室走出来的企业。2012年，初创的公司从上海创业接力基金处拿到了550万元风险投资，该基金为上海大学生科技创业基金会下属机构。“550万元放在今天看可能不算什么，但在当时确实是大学生能拿到的一笔巨款了。”殷海玮回忆道。

随后的几年里，复享开启了商业化进程——聚焦光谱检测与微纳制造两大领域，公司的核心技术则应用于光谱仪、角分辨光谱、共焦光谱等仪器的研发生产。虽然商业化在推进，但最初的几年里复享的业务仍集中在学术圈，客户多为院校实验室和前沿领域的科研人士。

近年来，微纳制造的快速发展和芯片半导体“卡脖子”问题，让复享看到了更多向工业赛道转型的机会，以及光谱技术在半导体制造环节可发挥的能量。

“这十年的积累让我们逐渐知道光谱检测还可以在微纳制造工业发挥哪些作用，尤其从三年前半导体自主可控变得非常迫切后，我们的技术与服务也进一步向微纳领域光电子、半导体器件、集成电路领域的客户倾斜。”他说道。

跳出学术圈纠偏半导体制造

殷海玮向《每日经济新闻》记者介绍，芯片半导体制造是当下微纳技术最重要的应用领域之一。与此同时，这也是一个容错率极低的行业。“半导体的产业链很长、细分环节步骤众多，而每一个步骤里哪怕是0.1%的误差都可能对成品的良品率造成致命的打击，我们要做的就是运用频率、动量、相位、空间分辨这些深度光谱技术以及人工智能解决方案去完成半导体制程中的检测，纠正这0.1%的误差。”

据介绍，目前复享已与半导体产业中光刻、刻蚀、镀膜、量测、CMP等环节中的多个头部设备企业开展了业务合作，迈出进口替代的关键一步，同时也是能为产业提供高端光谱模组的供应商。

殷海玮表示，目前公司在半导体领域的业务分为两大板块——一方面是向“自主可控”赋能，“卡脖子”问题出现后，很多企业要么是买不到新的设备，要么是之前买的进口设备得不到后续服务，他们要做的就是用光谱模组技术解决他们当下一些痛点问题；另一方面，则是帮助新兴产业的企业解决效率、成本问题。“比如AR虚拟现实眼镜，很早之前大家就知道这个东西，但为什么还没有消费级的产品大面积出现，就是因为它用到的光子芯片造价非常高，我们的工作之一就是帮客户把成本压到电子消费品的价格范围内，所以在这些新领域里要做的还非常多。”

据悉，复享已于近期完成了上亿元B轮融资，资金将被主要用于人才扩充、研发生产场地的扩容、升级以及前沿技术布局。

微缩近极值后是光替代电？

除了用光谱检测赋能微纳制造外，殷海玮更期待的是参与“光取代电”的进程。他认为，我国半导体行业将经历发展的三大进程：首先是解决当下的“卡脖子”问题，举全国之力把核心生产工艺、软硬件彻底国产化。

其次是在尺寸微缩逼近极限后，集成电路由2.5维结构向三维堆叠结构的升级，以及纳米片、二维材料等新技术的出现与应用，“这个过程至少还将持续10年，也是摩尔定律进一步发展的空间”。

第三则是从电到光的变革。“作为计算的媒介和能量载体，光的特性远强于电流，比如光子间干扰作用低、大带宽、超强的量子计算能力，等等。所以第三个进程里我们会看到由集成电，到集成光电，最后到纯粹的集成光。这三个进程其实是同时发生的，但实现的顺序有先后，当务之急是解决信息产业安全问题，其次再是把集成电路的28纳米成熟工艺推进到14~7纳米先进工艺，最后再逐步去推进光、电的替代转化。” 

原标题：“自主可控”攻坚时刻 复享光学用深度光谱技术赋能半导体制造