对电池片进行电致发光EL测试,如下图3和4所示。其黑心和黑斑现象如组件EL测试所见。
图3 样片1EL 测试 图4 样片2EL 测试
光照条件电池电性能测试如表1 所示。
表1 光照条件电池电性能测试
两片电池效率分别为11.06%和13.99%,Isc 分别为4.73A 和4.62A,均明显偏低;而此类正常电池片效率一般为17.5%左右,Isc 为5.3A 左右。
电池光诱导电流密度(LBIC Current)测试如图5 和6 所示。
图5 样片1 LBIC Current 测试 图6 样片2 LBIC Current 测试
图7 样片1 少子寿命测试 图8 样片2 少子寿命测试
硅片少子寿命测试与电池光诱导电流密度(LBIC Current)测试和电池EL 测试具有很好的对应关系,说明造成电池效率低的原因为硅片本身内部缺陷所致,与电池工艺没有直接关系。
对硅片进行化学抛光和Wright 液腐蚀,样片2 呈现出明显的与EL 测试、电流密度(LBIC Current)测试和少子寿命测试相对应的图案形貌,如图9 所示。
图9 样片2 经化学腐蚀后图案形貌
样片1 的光学显微观察如图10 和11 所示,局部区域具有很高的位错密度达10E5~10E6 左右。样片2 的光学显微观察如图12 和13 所示,在如图9 所示的中心圆形图案形貌内,其位错密度均高达10E6~10E7 左右。黑斑边缘区域位错密度>106 个/cm2 均为无位错单晶要求1000~10000 倍,这是相当大的位错密度。